软物质微纳加工实验室

特别展览

软纳从无到有：上海科技大学微纳加工5年研究回顾展

展期：2023-11-06 - 2023-11-10
展览地点：上科大图书馆二楼展室
展期：2023-11-13 - 2023-11-17
展览地点：上科大物质学院4/5号楼大厅

简介

展品

【简介】

2023年为上海科技大学十周年校庆，恰逢“软物质微纳加工实验室”（简称：软纳米平台）启用五周年，特举办“杰出微纳器件与图形”用户竞赛活动。本次特邀过去5年用户使用平台设备所“创作”的微纳器件或图形，通过欣赏不同微纳器件及微观图形的艺术之美，领略芯片制造的设计思路，回顾平台的发展变化。活动选出最具代表性的五件杰出器件或图形作品，长久展示在平台走廊的“艺术荣誉墙”。

【热点详解】

软纳米平台在2018～2023的五年内已建立一条完整的4寸工艺链，包含光刻、蚀刻、薄膜、器件封装/测试等工艺，能够为软物质的研究提供先进且全面的器件制备能力。其中紫外光刻、双光子光刻、探针热刻以及氦离子束直写这四种特色设备为用户提供宽尺度和多维度的加工能力。本次展览作品共计42件，主要是平台用户使用以上四种不同光刻加工技术制备完成，涉及领域广泛包含软物质生物应用领域材料、能源材料与器件以及固态量子材料与器件等。

【背景介绍】

软纳米平台是一个小规模、高水平、创新型的微纳加工平台，是上海科技大学建校期间的重点建设平台，由物质学院负责平台规划、筹建、以及运行等相关工作。作为一个大型设备共享的校级平台，主要服务校内、外科研与教育项目，为用户提供先进的微纳加工设备及良好的工艺条件；同时也作为产学合作的公开交流平台，致力于成为微纳加工人才的培养基地，以实现上海科技大学强调的“推进科技进步、驱动产业发展”创新价值与理念。

5-基于NbOCl2-MoS2异质结的FET

6-介电超表面-光子晶体级联结构驱动的非对称传输装置

12-红外到可见的飞跃：基于量子点的上转换光电探测器

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